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山东康德莱净化工程有限公司
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微环境的送风是由无尘车间送风系统提供，其缺点是不灵活，移动或增加工艺设备不方便。目前8”、12”IC生产线所用的微环境基本上是图5的形式（光刻机除外），微环境全部由工艺设备自带，与工艺设备紧密结合在一起，并且与装载台、前开口传递盒(front opening unified pods．FOUP)、吊挂传输系统(ovcerhead hoist transport，OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸室内的空气，经ULP过滤器处理后垂直下吹，厂房净化车间，以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。
洁净室系统是高质量要求制药工业必要的硬件，为其提供必要的洁净度，温、湿度，压力等受控环境。同时，洁净室净化空调系统又是能耗大户，厂房净化，净化空调系统的能耗约占洁净室总能耗的50%-60%，因此，洁净室净化空调系统的节能是一个重要的课题。本文从深刻领会《药品生产质量管理规范》对洁净空调的特殊要求出发，介绍一种既满足制药行业的特殊要求，又可以节约大量能耗的设计方案，即“动静态分开控制”方案，并通过工程实例，证实了：与传统洁净空调系统相比，该方案可带来非常可观的节能收益。 （这里传统的洁净空调系统指：混合式空调机组AHU，新风与回风混合，经过过滤及单冷、热盘管的热湿处理后，厂房净化工程，送入洁净室）。
连锁控制：当送风机启动时按控制规律调节新风阀开度、预热蒸汽调节阀开度、再热蒸汽阀开度、加湿器蒸汽调节阀开度；当送风机停止时关闭所有控制阀门。
◆ 新风阀调节：检测新风温湿度和回风温湿度，分别计算出空气的焓值，冬季当新风焓值I 新< 回风焓值I回，济南厂房净化，由于处理新风所消耗的能量大于处理相同量的回风所消耗的能量，所以应采用至小新风量以便有效节约能源，故新风阀开度为允许的至小开度。
◆ 温度控制：由于室外温度较低（低于5℃），预热盘管处于工作状态，根据预热温度检测值和设定值按PID 控制规律调节预热加热器蒸汽调节阀开度，使预热温度稳定在设定值。新风经过预热后与回风混合。根据回风温度检测值和设定值按PID 控制规律调节二次加热器蒸汽调节阀开度，使回风温度稳定在设定值。
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